Development of a LinCon-based high-clean, high-precision sealed automatic conveying system for semiconductor ultra-fine processes
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(중소기업유망기술개발)
2026년
2420033069
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
주식회사 미르
이준영
4명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.06.30
1.2억원
1.6억원
개발연구
중소기업
경기도 화성시
기계 > 로봇/자동화기계 > 기계자동화기술
본 과제는 반도체 초미세 공정 환경에서 요구되는 나노급 청정 이송 기술을 구현하기 위해, 기존 OHS(Overhead Hoist System) 기반 웨이퍼 이송 시스템을 대체하는 LinCon 기반 밀폐형 자동 반송 시스템 및 핵심 부품 기술 개발을 목표로 한다.기존 OHS 시스템은 300Vdc 비접촉 전원공급 기반으로 웨이퍼를 공장 상부에서 이송하는 구조이...
... 구조적 안정성을 확보- 반복 주행 시험을 통해 진동, 충격 및 간격 유지 성능을 검증하고 개선④ 지능형 제어 및 시스템 신뢰성 통합 기술 개발본 기술은 실시간 상태 인지와 자동 제어가 가능한 데이터 기반 지능형 이송 시스템 구현을 목표로 한다.위치, 속도, 전력, 이상 상태 데이터를 수집하는 제어 아키텍처와 실시간 모니터링 체계를 구축한다.실시간 캐리어 추적 및 충돌 방지 알고리즘을 ...
이송 경로 단축 및 구조 단순화를 통해 운영비 절감, 생산성 향상, 설비 다운타임 감소 효과를 기대하고 또한 정밀 제어 기반 이송 플랫폼 기술 확보를 통해 이송 시스템 국산화율 향상 및 반도체·디스플레이 공정 자동화 시장 진입이 가능하며, 중장기적으로 연간 수십억 원 규모 매출 창출 아울러 수평형 구조 적용을 통한 작업 접근성 개선과 밀폐형 이송 구조를 통해 ...