Development of 500 Hz Integrated Imaging Module for Ultra-High-Speed EDC Microscopy
창업성장기술개발(R&D) · 창업성장기술개발사업(디딤돌)
2026년
2420034363
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
리지스뷰 주식회사
임규욱
2명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2027.12.31
6,650만원
8,875만원
개발연구
중소기업
경상북도 포항시
전기/전자 > 반도체장비 > 측정/검사장비
당사가 세계 최초로 개발한 EDC(Effective Diffusion Current) 현미경은 전극 접촉 없이 전자빔과 시료의 상호작용으로 발생하는 유효 확산 전류를 측정하여 소재의 국부 전도 특성을 영상화하는 차세대 분석 기술이다. 기존 전극 기반 전도 측정 방식은 나노미터급 소재, 다층 구조 소자, 복합재료 분석 시 전극 형성의 어려움, 접촉저항, 계면...
... CPA 기반 증폭 구조, 바이어스 회로, 신호 분리 회로 및 고속 응답 특성을 갖는 아날로그·디지털 신호처리 기술을 설계한다. 또한 노이즈 레벨, 주파수 응답, 선형성, 재현성을 평가하여 100Hz ... “ResisView 초고속 EDC 영상 홀더”로 완성한다. 본 연구개발은 단순 성능 향상을 넘어, EDC 현미경의 세계 최초 원천기술을 산업형 제품으로 전환하는 핵심 단계가 될 것이다.
본 과제를 통해 개발되는 500Hz급 일체형 EDC 영상 모듈은 기존 EDC 현미경의 가장 큰 한계였던 분석 속도를 획기적으로 개선하는 핵심 성과물이다. 현재 100×100 픽셀 이미지 1장 획득에 약 1시간이 소요되던 시스템을 20초 이내 수준으로 단축하고, CPA 기반 전류증폭 회로, 고절연 구조, 진공 대응 하드웨어, SEM 연동형 표준 인터페이스가 ...