Enhancement of ESD-Protective Performance for Cleanroom Packaging Sheets (POD): Development of SDCP-based High-Stability Chemicals and Automated Process Systems
창업성장기술개발(R&D) · 창업성장기술개발사업(TIPS)
2026년
2420033392
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
반도디에스코리아 주식회사
정진욱
12명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.06.30
2.2억원
3.0억원
개발연구
중소기업
경상남도 창원시
전기/전자 > 반도체장비 > 반도체장비용 핵심부품/제조장비
1) 최종목표(End Goal)반도체 첨단 후공정/첨단 패키징 장비 구동부에 적용되는 클린룸 PKG용 POD를 대상으로, ESD-Protective 성능 및 초저분진(IPA 1등급) 성능을 동시에 만족하는 양산 제품/공정을 확보하고 고객사 양산 승인(Qualified) 획득2) 최종 산출물(Deliverables)- SDCP 기반 ESD 케미컬 레시피(농도...
[연구개발내용 - 연차별 상세 내역]1차년도(2026): SDCP 기반 대전방지 핵심소재 레시피 최적화·표준화 및 대전성능 사양/규격 확정과 ESD 인증 기반 구축- SDCP(Self-Doped Conducting Polymer) 기반 대전방지 핵심소재의 배합·부착·경화 조건 최적화 수행, e-PTFE(Clean Cable) 기재 적용 시 결합 특성 변동 ...
[활용계획(제품/사업 적용)]- 적용 시장/장비: HBM 관련 TC-Bonder 및 FO-PLP 등 첨단 패키징 장비 구동부에 클린 케이블 패키지 + POD(삽입형/박막형) 형태로 적용하여, 미세공정에서 증가하는 ESD 파손 및 분진 오염 리스크를 저감하는 필수 부품으로 공급- 제품 포트폴리오 연계: DS-Clean Cable (삽입형/박막형) 등 자사 클...