Development of a Multi-channel 3D Precision Measurement System based on a Hybrid Optical Interferometer
창업성장기술개발(R&D) · 창업성장기술개발사업(디딤돌)
2026년
2420034056
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
훈민솔루션(주)
권오병
3명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2027.12.31
6,650만원
8,875만원
개발연구
중소기업
경기도 하남시
물리학 > 광학·양자전자학 > 나노 광학
(1)기술개발 개요 및 필요성- 기존 개발 제품의 기술적 한계PSI (Phase Shifting Interferometry) 방식은 나노미터급 분해능으로 싱글파이버의 3D 분석에는 적정하나, 1/2 파장 이상의 단차가 있는 MT 커넥터의 가이드 핀 홀이나 12ch파이버 돌출량 측정 시 위상 모호성 (Phase Ambiguity) 발생.- 시장 요구5G/6G...
(1)하이브리드 광학 간섭계 기반 멀티채널 3D 정밀 측정 시스템 개발방법- WLI+PSI 하이브리드 통합 광학 간섭계 설계 및 개발o 광원계광대역 백색광 (WLI용)과 협대역 Filtered LED (PSI용)를 스위칭 또는 동시에 활용하는 광학 구조 설계 및 개발.- 대면적 멀티채널 정밀 측정 플랫폼 개발o PZT 스캔 모듈100㎛ 이상의 고선형성 주사...
1. 연구개발성과 활용계획1) 연구개발성과- 소형 간섭계 모듈 및 소프트웨어를 포함한 나노미터급 기하 형상 분석 시스템2) 활용 분야- Fiber Optic Component 기하구조 자동 검사 시스템- 자동차 핵심 부품인 인젝터 등의 노즐 부분 기하구조 자동 검사 시스템, micro LED 등의 초소형 제품에 대한 기하구조 자동 검사 시스템 등에 활용3) 활용 ...