Development of a Track System for Optimizing Compound Semiconductor Photolithography Processes
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(글로벌선도기술개발)
2026년
2420034443
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
(주)애플티
이찬수
6명
2026.09.01 ~ 2026.12.31
2026.09.01 ~ 2028.08.31
1.7억원
2.6억원
개발연구
중소기업
경기도 용인시
전기/전자 > 반도체장비 > 노광/트랙장비
◆ 화합물 반도체 (SiC: 실리콘카바이드, GaN:질화갈륨, GaAs:갈륨비소 등) Wafer전용 PR 코팅이 가능한세계 최고 수준의 화합물 반도체 전용 포토트랙 시스템 개발을 목표로 함 ◆ 업계 최초로 기존 Si Wafer 공정에 더하여 4“, 6“, 8” inch 겸용 화합물 반도체용 투명 Wafer 처리 가능한 기능성 포토트랙 시스템 개발 ◆장비 Main ...
◆ 나노융합기술원(NINT Fab)에 구축된 포토트랙 Pilot 설비 Speed-200 시스템의 시험평가 기준하여 보안 수정하고 새로 개발될 포토트랙 시스템은 아래와 같이 연차별로 기술함 1차 년도(2026. 9 ~ 2026. 12 ) 시스템 최적 설계 및 단위 Unit 고도화● PILOT 장비(NINT 보유) 개선사항 도출 및 반영함● 생산성 30% 향상을 ...
활용계획 ① Si Wafer 외에도 화합물 반도체 SiC, GaN, GaAs 등 차세대 투명성 기판에 최적화된 포토트랙 시스템을 개발하여 수입대체 및 해외 협력사에 공급하여 수출효과를 극대화함 ② SiC, GaN, GaAs 등의 화합물 반도체 최적화된 포토트랙 설비를 개발하여 국내 고객사 시스템 IC 제조업체(SK Key Foundry, DB 반도체 등)에 공급하고, ...