Development of a Non-Vacuum Composite Insulated Double Pipe and Manufacturing System with Anti-Condensation Performance at 70C and Outer Diameter 70 mm for Branch Lines in Advanced AI Semiconductor P...
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(중소기업유망기술개발)
2026년
2420033099
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
지인철(주)
박지헌
8명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.06.30
1.2억원
1.6억원
개발연구
중소기업
경기도 수원시
기계 > 요소부품 > 배관용 요소부품
... 반도체 공정용 장비단 분기 구간에 적용 가능한 ?70℃급 무결로 특성의 비진공 복합단열 이중배관 개발을 목표로, 비진공 복합단열 이중배관 구조기술, 건조 질소 양압 충전 단열기술 및 제조시스템 기술개발을 통해 고단열성, 무결로성, 소형화 및 유지관리 용이성을 동시에 확보한 반도체 공정용 극저온 냉각라인 적용 이중배관 시스템 개발을 목표로 함? 주요 기술 및 역할 - (차별성) ?70℃급 ...
... 구조 설계를 통한 무결로 특성 확보 기술 개발? 2차년도 - 설계 규격 기반 외경 ≤70mm급 비진공 복합단열 이중배관 시제품 제작- 건조 질소 제조·공급·충진·밀봉 기술 확보 및 연계 시스템 개발- 이중배관 제조공정 표준화 및 조립·검사 공정 기술 개발- 기밀성, 내압성, 열성능, 무결로 특성 검증을 통한 시제품 성능 고도화? 3차년도 - 극저온(-70℃) 운전환경 모사 테스트베드 ...
? 과학/기술적 측면- 반도체 공정용 장비단 분기 구간에 적용 가능한 ?70℃급 무결로 특성의 비진공 복합단열 이중배관 기술 확보- 기존 진공 이중배관의 고비용·고진공 유지 한계와 단일 보온배관의 성능 한계를 보완하는 소형 비진공 극저온 배관 구조기술 확보- 질소 양압 단열층, 센터링, 벨로우즈, 외피 단열·케이싱을 결합한 극저온 복합단열 배관 설계 및 제...