Development of an In-Line HBM Inspection System Using AI-Based Low-Dose Limited-Angle Tomography
창업성장기술개발(R&D) · 창업성장기술개발사업(디딤돌)
2026년
2420034241
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
마이솔스 주식회사 (Misols Inc.)
조민국
1명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2027.12.31
6,650만원
8,875만원
개발연구
중소기업
경기도 고양시
전기/전자 > 반도체장비 > 측정/검사장비
... 인라인 전수검사할 수 있는 AI 기반 제한각 토모그래피(±45°) 기반 검사장비(MIS1000) 시제품을 개발하는 것입니다. \"저선량·고처리량·소형 풋프린트·AI 결함분류\"의 4대 축을 단일 플랫폼에 통합하여, 현재 사실상 불가능한 HBM 전수검사를 물리적·경제적으로 실현 가능한 수준으로 끌어올리는 것을 목표로 합니다.■ 개발 배경 및 필요성HBM3E·HBM4 세대에서 12-Hi·16-Hi ...
... 개발합니다. 전체 시스템은 \"디텍터 모듈 ― 나노포커스급 X-선 광원 ― 제한각 정밀 회전·반송 기구 ― 엣지 GPU 재구성·AI 서버 ― MES/YMS 연동 인터페이스\"의 5단 수직 스택, \"데이터 획득 ― 재구성 ― 판정 ― 연동\"의 4단 SW 파이프라인으로 통합 운영됩니다.■ 모듈 A ― 이미징 체인 (고감도 CMOS + PCD 옵션)디텍터는 고감도 CMOS 플랫 패널(픽셀 피치 ...
... 활용, 사업화 활용, 지식재산·표준화 활용, 인력양성·파급효과 활용의 4개 축으로 전개하며, 과제 종료 후 3~5년에 걸쳐 정량·정성 성과를 창출할 것입니다.■ 기술적 활용 ― 차세대 플랫폼 확장본 과제는 대표자가 2006년 삼성전자 휴먼테크논문대상 금상으로 인정받은 반도체 CT 비파괴 검사 주제를 20년 만에 상용 장비로 완성하는 작업이라는 기술적 계보를 갖습니다. 확보되는 AI ...