Development of technology for localization of high-precision, high-uniform heating system for core ALD process of HBM4 memory manufacturing
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(중소기업유망기술개발)
2026년
2420033540
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
(주)조양
이강수
4명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.06.30
1.2억원
1.6억원
개발연구
중소기업
충청북도 음성군
전기/전자 > 반도체장비 > 증착장비
- HBM4 메모리 제조 ALD 공정용 카본 발열체 기반 Quartz 히팅 시스템 제조- 열처리 공정을 통한 Quartz 소재 잔류응력 제거 및 고순도 카본 발열체 제조 기술 개발 - Quartz 세정 공정을 통한 고청정 Quartz 히터 제조 기술 개발 - 온도 균일도 및 안정성 검증을 위한 히팅 시스템 성능 평가 기술- 정량 목표 (공인기관 전문가 입회) ...
[주관연구개발기관]■ Quartz 보호관 가공 및 형상 제어 기술 개발 및 최적화 - 직선 Quartz 보호관 간 정밀 연결 가공 기술 개발 (외경 : 6mm, 내경 ≤4mm) - 연결품 내부 카본 발열체 삽입 공간 확보를 위한 구조 설계 및 형상 유지 기술 개발 - 직선 연결부 외부 구조물 접합 시 열변형 및 형상 왜곡 방지 가공 기술 개발■ Quart...
■ ALD용 Quartz Glass 히터 제작 및 평가 기술 확보 - 본 과제는 ALD 장비용 히팅시스템의 기술개발을 목표로 하나, 기존 지류 용기 제조 설비용 및 CVD 장비용 히터 개발에서 확보한 경험을 통해 Quartz 정밀 가공, 치수 정밀도 향상, 히터 특성 평가 및 지그 설계 · 제조 기술을 활용하여 개발 안정성과 완성도를 확보하고자 함. - ...