Development of TGV High-Speed Precision Inspection System for Glass Substrate Using Top & Bottom Simultaneous Inspection Method
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(글로벌선도기술개발)
2026년
2420034567
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
주식회사앤에이치씨
한봉석
10명
2026.09.01 ~ 2026.12.31
2026.09.01 ~ 2028.08.31
1.7억원
2.6억원
개발연구
중소기업
인천광역시 연수구
전기/전자 > 반도체장비 > 측정/검사장비
AI 기반 반도체 TGV(유리기판) 검사 기술을 적용하여 홀 측정, 두께, 치수 및 결함에 대한 검사 정확도를 높이고 상·하면 동시 검사 기술 적용을 통해 초고속 검사 시스템을 개발하여 양산 대응이 가능한 상용화 기술 확보를 목표로 함.(1) AI 기반 TGV 검사용 고분해능 광학 및 초정밀/초고속 검사 소프트웨어 개발 - 상·하부 동시 검사가 가능한 고분해능 ...
... 데이터셋과 지능형 검사 소프트웨어 개발 - Confocal Sensor를 적용하여 투명 TGV(유리기판)의 두께를 실시간으로 측정·분석하는 소프트웨어 개발 - 시스템 정밀 제어 소프트웨어/전장 설계 및 개발 - 하부 검사 공정 기구 및 센서 모듈 설계 및 제작 - 장비 외형 및 시스템 구성 설계, 제작 - 상·하부 동시 검사가 가능한 고분해능 ...
1. 연구개발성과의 활용방안1) 신규 매출 향상 : 공동 연구개발 기관인 기업들의 매출 향상.2) 설비 고객사 생산성 및 품질 향상 : 검사를 통한 생산성 및 품질 향상.3) 유관 산업 활성화 : 유리기판, PCB 측정 검사기 분야 산업기술 선도.4) 해외 의존적 검사 공정 및 장비 기술 국산화 : 해외 수출 증대에 기여.5) 유관 기술 활용한 타산업 응용...