Development of Low-Pressure-Drop Filter-Based Modular Air-Handling Technology with Low-Vibration Performance for Improved Reliability in Semiconductor Mini-Environments
투·융자연계기술개발(R&D) · 투·융자연계기술개발사업(스케일업 팁스_일반형)
2026년
2420034523
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
(주)뉴라이즌
이정현
20명
2026.09.01 ~ 2026.12.31
2026.09.01 ~ 2029.08.31
3.3억원
4.4억원
개발연구
중소기업
부산광역시 수영구
전기/전자 > 반도체장비 > 반도체장비용 핵심부품/제조장비
반도체 검사장비 및 고청정 미니환경용 저차압 필터 기반 저진동 EFU 청정공기 공급모듈 개발 1) 저차압·장수명 ULPA/HEPA 필터제품 설계·제조 기술 2) 필터?팬 통합형 저진동·저소음 EFU 모듈 기술 3) 고청정 Mini-Environment 기류·청정환경 통합기술 4) 실 EFU/BFU 및 반도체 장비 적용 성능검증·현장 실증 기술1) 필터제품-...
- 상용 ULPA/HEPA 필터의 효율·차압·구조·분진부하 특성을 분석하고, 반도체 전·후공정 및 검사장비 적용을 위한 필터 성능·장착 요구조건과 기준사양을 정립- 절곡 Pitch·Height, Pack 깊이, 유효 여과면적, Spacer, 프레임·실링·가스켓 등 필터 구조별 저차압·기밀성·구조안정성 핵심 설계인자 도출- 기존 EFU/BFU의 풍량·정압, ...
... 진동·소음·발열을 저감하고, 균일한 청정공기 공급과 안정적인 Mini-Environment를 구현하여 반도체 제조·검사공정의 작업환경 및 설비 운전 신뢰성 향상에 기여합니다.- 공조시스템의 소비전력과 필터 교체·유지관리 부담을 줄여 산업현장의 에너지 사용과 간접적인 탄소배출 저감에 기여하고, 고청정 제조환경의 지속가능성과 생산 안정성을 향상합니다.2) 경제적 기대효과- 필터 ...