Development of active control system for a semiconductor scrubber usging multi-measurement system
민관공동기술사업화(R&D) · 민관공동기술사업화R&D(구매연계· 상생협력)
2026년
2420034529
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
우성이엔디
서학석
8명
2026.09.01 ~ 2026.12.31
2026.09.01 ~ 2028.08.31
1억원
1.4억원
개발연구
중소기업
경기도 화성시
전기/전자 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
기술개발명 : 반도체 Scrubber 능동제어형 멀티 측정 시스템 개발제품명 : 스크러버 능동제어 멀티시스템제품 적용 대상 - 스크러버의 연소효율 측정 및 최적화 시스템 - 스크러버의 배출가스 저감효율 측정을 통한 최적화 시스템- 굴뚝 배출가스 및 공정용 일반에서 사용될 수 있는 시스템 개발 제품에 대한 일반적인 사양은 아래와 같음.- 측정항목 : CO, CO2, ...
시장 조사 및 요구사항 분석 - 반도체 scrubber 시스템의 주요 요구사항 및 산업 트렌드 분석- 수요처의 요구를 반영한 멀티 측정 시스템의 주요 기능 정의- 수요처의 주요 시스템에 적용하기 위한 수요처 시스템 분석기술 조사 및 설계 기본 방향 설정- 능동 제어 및 멀티 측정 시스템에 대한 수요처의 요구 파악- 전처리 시스템, 하드웨어 및 소프트웨어 요구 ...
... 통한 기업 경쟁력 강화산업적 기대효과- 최적 운전을 통한 수요처의 플랜트 운영 비용 절감- 최적 운전은 장기적으로 설비 성능 최적화 및 안정적 가동을 기여- 수요처 및 최종 고객의 시스템 운용 최적화를 통한 기업 경쟁력 강화과학적 기대효과- 실시간 측정을 통한 스크러버의 데이터를 기반으로한 시스템 및 운전 공정 최적화- 관련 친환경 기술 개발 촉진 및 타 분야 관련 연구에 ...