Retrofit-free High-Performance Sensing Solution for Semiconductor & Display Plasma Processing Equipment
창업성장기술개발(R&D) · 창업성장기술개발사업(TIPS)
2026년
2420033482
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
주식회사 파이렉스
윤정식
5명
2026.07.01 ~ 2026.12.31
2026.07.01 ~ 2028.06.30
2.2억원
3.0억원
개발연구
중소기업
대전광역시 유성구
물리학 > 유체·플라즈마물리 > 플라즈마 물리
... 환경에서 활용 가능한 “Retrofit-free 기반의 실시간 Explainable 센싱 플랫폼”을 개발하는 것이다. 기존 OES, VI Probe, RGA 등의 진단기술은 공정 상태를 간접적으로 ... 없이 외부 부착만으로 플라즈마 상태를 실시간 측정할 수 있는 고성능 센서를 제품화하고, 센서 데이터를 기반으로 플라즈마 물리 파라미터를 정량적으로 해석하는 물리기반 가상계측 엔진을 고도화 하고자 ...
... 과제에서는 공정/장비 적용형 제품화를 목표로 고성능 센서, 물리기반 가상계측 엔진 및 운영 플랫폼 기술을 개발한다.첫째, 자기하모닉 센서 및 전류-전압 센서를 기반으로 장비 개조 없는 외부 부착형 비침습 센서를 제품화한다. 이를 위해 다중 주파수 및 Non-50오옴 환경 대응, 고속 데이터 수집, 모듈화 및 패키징 최적화, 장기 신뢰성 및 환경 내구성 검증을 수행한다.둘째, 물리기반 가상계측 ...
본 과제를 통해 개발된 센서 및 가상계측 플랫폼은 반도체/디스플레이 Fab 및 글로벌 장비사를 대상으로 사업화할 계획이다. 초기에는 국내 Fab 대상 PoC 및 Paid Pilot을 수행하고, 이후 장비사(OEM)와의 연계를 통해 차세대 장비의 기본 옵션 형태로 내재화를 추진하고자 한다. 또한 HW 판매 중심 구조를 넘어, PI-VM 분석엔진 및 운영 플랫폼을 ...