Development of a High-Reliability Vacuum Deposition System for Electromagnetic Shielding Film Deposition
중소기업기술혁신개발(R&D) · ★중소기업기술혁신개발사업(중소기업유망기술개발)
2026년
2420034485
중소벤처기업부
중소기업기술정보진흥원
에이씨에스
윤주섭
6명
2026.09.01 ~ 2026.12.31
2026.09.01 ~ 2028.08.31
8,000만원
1.1억원
개발연구
중소기업
경기도 화성시
전기/전자 > 반도체장비 > 증착장비
... 방식이 주요 공정으로 적용되고 있음.□ 기술개발 필요성 및 시급성 - 반도체 및 전자부품, 차량용 전장부품등에 전자파 차폐막 진공증착 공정이 확대되고 있으나, 관련 공정을 수행하는 증착 시스템은 기존 반도체 및 디스플레이용 장비 컨셉으로 차폐공정에 최적화 되어있지 않음. 경쟁사 대비 측면 증착률이 우수한 스퍼터링 건 및 공정 챔버, 냉각시스템, 생산성 향상에 적합한 ...
... 세정이 필요한 Shield의 수량을 최소화 하기 위해 일체형 및 자성을 이용한 탈/부착 타입 의 Shield 구조로 개발 함. 3. 양산용 Full automation 제어 시스템 개발 - 양산성 검증 필요에 따라 연속 자동화 운영이 가능한 시스템 제어프로그램 개발. -> 단위 공정별 매뉴얼 제어로 운용되고 있어서 자동화 운용에 따른 에러 발생 제거 ...
□ 사업화 목표 : 경쟁사 대비 차폐성능 및 생산성면에서 확실한 비교우위 및 차별화된 양산기술을 확보하여 전자파 차폐막 진공증착 시스템 사업화 추진. 이를 통해 해외시장 진출 등 다양한 공급망을 확보하여 매출 신장 및 고용 확대. - 기술개발 과제 종료 시점에 양산장비 실적 확보를 목표로 기술개발 및 마케팅 진행. - 기술 개발물에 ...