Development of inline Xray equipment for measuring metal thickness in CuCMP process
차세대지능형반도체기술개발(설계·제조)(R&D) · 반도체제조공정정비
2026년
2410017012
산업통상부
한국산업기술기획평가원
(주)아이에스피
박정권
26명
2026.01.01 ~ 2026.12.31
2023.04.01 ~ 2026.12.31
13억원
17.3억원
개발연구
중소기업
전북특별자치도 전주시
인문학 > 기타 인문학 > 기타 지역종교(아프리카, 오세아니아 등)
... 분석 장치개발- Stand Alone type Cu-CMP 금속 두께 측정용 장비개발- 시스템 및 데이터 검증 [공동연구개발기관(한국표준과학연구원)]○ CMP 슬러리 진단 플랫폼 구축 및 금속두께 측정 모델 개발- CMP 슬러리 진단 플랫폼 고도화 및 공정 데이터 기반 두께 예측- 슬러리 진단 및 공정 빅데이터 수집 및 금속두께 측정 모델 고도화- 빅데이터 기반 ...
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... 및 기대효과]○ 해외 업체가 보유하지 않은 신개념 검사기술 및 지식재산권 확보를 통해 해외 선진국에서 독점하고 있는 검사장비의 국산화가 가능함.○ 본 과제의 연구개발성과를 통해 CMP 공정 빅데이터 구축 및 포괄적 진단 시스템 확보 및 실시간 두께 예측 인공지능모델 개발을 통해 세계적인 자체 기술 구축[연구개발성과의 기대효과]○ Cu-CMP 인라인 두께측정 검사는 반도체 인라인 모니터링에 ...